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高纯试剂是为了特定的使用目的而用特殊方法生产的一种高纯试剂，其纯度远高于优级纯的试剂。
超净高纯试剂通常由低纯试剂或工业品经过纯化精制而成，其工艺过程包括选料、提纯、过滤、分装、储存等重要环节。
电子级试剂（超净高纯试剂）又称光学与电子学专用高纯化学品，主要是针对的是电子元件中使用的化学试剂，最重要的特点就是金属含量极低。
超净高纯(VLSD) 试剂是大规模集成电路(IC) 及高档半导体器件制造过程的专用化学品，主要用于硅单晶片的清洗、光刻、腐蚀工序中，下游应用领域为半导体，光伏太阳能电池，LED和平板显示。它的纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能、可靠性都有着重要的影响。
电子级试剂常用于芯片、农业、土壤、水质、环境、纺织等行业。
在样品制备时,经常使用酸进行消解。样品制备试剂会对测量结果产生重要影响。在现代仪器痕量分析中,任何杂质都可能干扰测量。为最大限度减少对仪器信号的干扰,要使用杂质含量超低的酸。
食品和制药检测中，通常利用电子级硝酸进行消解然后进行重金属含量测定。电子级硝酸是各种检测方法最常用的化学品之一。具体用到哪个级别需要根据检测项目的痕量要求来确定。
| 国标编号 | 国标名称 | 应用到的部分电子级试剂 |
|---|---|---|
| GBT17141-1997 | 土壤质量铅、镉的测定石墨炉原子吸收分光光度法 | 盐酸、硝酸、氢氟酸、高氯酸、磷酸氢二铵 |
| GB 7467-87 | 水质六价铬的测定 二苯碳酰二肼分光光度法 | 丙酮、硫酸、磷酸 |
| GB/T 17593.4-2006 | 纺织品重金属的测定第4部分砷、汞 原子荧光分光光度法 | 硝酸 |
| GB 5009.17-2014 | 食品中总汞及有机汞的测定 | 硝酸、过氧化氢、硫酸、氢氧化钾 |
| GBT 20380.4-2006 | 淀粉及其制品重金属含量第4部分：电热原子吸收光谱法测定镉含量 | 硝酸、过氧化氢 |
| 品名 | 等级 | 应用领域 |
|---|---|---|
| 氢氟酸 | G2/G3 | 主要用于集成电路 (IC) 和超大规模集成电路 (VLSI) 制造中，主要用于晶圆表面清洗、芯片加工过程中的清洗和蚀刻等工序。在太阳能光伏行业中，用于硅片表面清洗、蚀刻等领域。在液晶显示器行业，用于玻璃基板清洗、氮化硅、二氧化硅蚀刻等 |
| 异丙醇 | G2 | 在半导体工业中用作脱水剂及清洗剂 |
| 硝酸 | G1/G2/G3/G4 | 在集成电路制造工艺中主要用于硅片腐蚀工序中，用时可与醋酸配制使用 |
| 过氧化氢 | G2/G3 | 主要用作半导体硅晶片清洗剂，蚀刻剂和光刻胶去除剂，还可用于高级绝缘层制取，电镀液无机杂质去除，电子行业中铜、铜合金和镓、锗的处理，以及太阳能硅晶片的蚀和清洗 |
| 氢氧化铵 | G2/G3 | 电子级氨水主要用于清洗，以及下游化合物的合成/主要应用于半导体、液晶面板显影剂；电子行业清洗剂 |
| 乙二醇 | G2/G3 | 用于芯片电子元器件的清洗 |
| 四甲基氢氧化铵 | G2/G3 | 主要应用于半导体、液晶面板显影剂；电子行业清洗剂 |
| 级别 | 关键金属杂质指标控制 | 适用范围 |
| G1 | 100ppb | 适用于ppb范围痕量分析例如：AAS,AFS,ICP-OES |
| G2 | 10ppb | |
| G3 | 1ppb | |
| G4 | 0.1ppb（100ppt） | ppt范围痕量分析,例如：ICP-MS |
| G4.5 | 0.05ppb（50ppt） | |
| G5 | 0.01ppb（10ppt） |
| 产品名称 | 简写 | 级别 | 规格 | 包装 |
| 硝酸HNO3 | HNO3 55% | G5 | 500ml | PFA |
| 硝酸HNO3 | HNO3 69% | G5，G4，G3，G2 | 500ml/1L/4L | PFA/加仑瓶 |
| 无水乙醇 | C2H6O | G3，G2 | 4L | 加仑瓶 |
| 氢氟酸HF | HF 38% | G5 | 500ml | PFA |
| 氢氟酸HF | HF 49% | G5，G4，G3，G2 | 500ml/1L/4L | PFA/加仑瓶 |
| 双氧水H2O2 | H2O2 31% | G5，G4，G3，G2 | 500ml/1L/4L | PFA/加仑瓶 |
| 硫酸H2SO4 | H2SO4 96% | G4.5，G4，G3，G2 | 500ml/1L/4L | PFA/加仑瓶 |
| 盐酸HCl | HCl 20% | G5，G4 | 500ml | PFA |
| 盐酸HCl | HCl 36% | G4 | 4L | 加仑瓶 |
| 盐酸HCl | HCl 37% | G3，G2 | 500ml/1L/4L | 加仑瓶 |
| 氨水NH3 | NH4OH 29% | G5，G4，G3，G2 | 500ml/1L/4L | PFA/加仑瓶 |
| 异丙醇IPA | IPA | G5，G4，G3，G2 | 500ml/1L/4L | PFA/加仑瓶 |
| 磷酸H3PO4 | H3PO4 85% | G2，G1，G0 | 500ml/1L/4L | 加仑瓶 |
| N-甲基吡咯烷酮 NMP | NMP | G5，G4，G3，G2 | 500ml/1L | PFA/加仑瓶 |
| 丙二醇甲醚醋酸酯PGMEA | PGMEA | G5，G4，G3，G2 | 500ml/1L | PFA/加仑瓶 |
| 丙二醇甲醚PGME | PGME | G5，G4 | 500ml | PFA |
| 醋酸HOAC | HOAC | G4.5，G4，G3，G2 | 500ml/4L | PFA/加仑瓶 |
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